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溅射电源

溅射镀膜电源

溅射镀膜电源是用于磁控溅射镀膜设备的电源系统。磁控溅射是一种常见的薄膜沉积技术,用于在材料表面上沉积薄膜。这种技术涉及将材料目标置于真空室中,然后使用离子化的气体离子轰击目标表面,使得材料从目标表面蒸发并沉积到基底表面上。

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产品详情

溅射镀膜电源是用于磁控溅射镀膜设备的电源系统。磁控溅射是一种常见的薄膜沉积技术,用于在材料表面上沉积薄膜。这种技术涉及将材料目标置于真空室中,然后使用离子化的气体离子轰击目标表面,使得材料从目标表面蒸发并沉积到基底表面上。

溅射镀膜电源的设计通常包括以下几个方面:

1. 直流或脉冲直流电源:产生用于激发溅射过程的电源信号。这些电源通常需要提供高电压和/或高电流,以确保有效的溅射。

2. 电源调节器:用于调节并稳定电源信号,以确保其符合磁控溅射设备的要求。

3. 控制系统:用于监测和调节溅射过程的参数,如溅射功率、溅射时间等,以确保薄膜沉积的均匀性和质量。

溅射镀膜电源对于溅射过程的稳定性和薄膜质量至关重要。它们需要提供稳定的电源信号,并确保对溅射参数的精确控制,以实现所需的薄膜沉积特性。

(数字,模拟)检测,控制。 工作方式:自定义稳压,稳流,稳功率。 效率:≥90% 使用环境:温度0~35℃ , 湿度≤85% 绝缘等级:B级 防护等级:IP20

控制方式:

电源面板按键控制

模拟信号控制:TTL电平,可以控制工作停止,输出电压或输出电流或输出功率,外部开路保护(一般用于水流保护)

数字接口控制:485通讯。也可以定制232接口

物联网WIFI连接,远程网络监控

显示方式:

中英文液晶显示

显示内容:

工作状态,输出电压,输出电流,设定值

输出保护

输出过压,输出过流,输出失调

输入保护

输入过压,输入欠压,输入过流,缺相

安全保护

接地保护,漏电保护,外控保护,防雷保护,过热

绝缘等级

B

防护等级

IP20

保护响应时间

1uS

输入

对外壳电阻

≥20MΩ

输出

输入对外壳耐压

2000V/1min

输入对输出耐压

3500V/1min

使用环境

温度:

0~35℃

湿度:

≤80%

冷却方式:

风冷

外形尺寸:

480*95*370(mm )

特点 :

体积小,重量轻,结构简单,操作简单,稳定可靠


动态抑弧功能,不易产生电弧,负载适应范围宽

备注:

出厂默认为模拟接口

故障提示

智能故障检测分析,上限点故障报警,有参数设置出错,人为操作出错,电源内部因素的多级号报错序列。


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